Elementidentifizierung auf der Nanometer-Skala

Das TSH (Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometer for Helium Ion Microscopes) 300 ist ein Flugzeitmassenspektrometer das als Add-On-Messinstrument für den speziellen Einsatz an Helium/Neon-Ionen-Mikroskopen (HIM) entwickelt wurde. Es kombiniert die hervorragenden Bildgebungsfähigkeiten eines HIM mit der Fähigkeit der Elementidentifizierung auf der nm-Skala. Das Besondere ist die hervorragende Ortsauflösung: Die Sekundärionen liefern eine laterale Auflösung von unter acht Nanometern. Das entspricht dem acht Millionstel eines Millimeters. Diese Hochauflösung bietet ein hohes Potenzial für Analysen in den Bereichen Nanoelektonik, Nano- und Mikrobiologie, Geowissenschaften und Materialforschung.

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Ein Heliumionenmikroskop, das für hochauflösende Bildgebung und Modifikation mit Helium- oder Neonionen bekannt ist, wurde mit einem Flugzeitspektrometer für die Analyse der Zusammensetzung der Probe ausgestattet. Das leistungsstarke Add-On, der TSH300, ist eine Sekundärionenextraktionsoptik mit der alle Sekundärionenmassen parallel gemessen werden können. Damit reduzieren sich ionen-induzierte Einflüsse auf die Probe auf ein Minimum. Die Kombination von hochauflösenden Sekundärelektronenbildern und lateral aufgelöster Elementidentifizierung bietet ein hohes Potenzial zur Analyse von Nano- und Mikrostrukturen.

 

Zusätzlich können Tiefenprofile durch Ionensputtern gewonnen werden, womit ein Blick „unter“ die Oberfläche der Probe möglich wird. Auf diese Weise lassen sich gezielt Element-Tiefenprofile bestimmen. Letztere eignen sich auch hervorragend für eine so genannte End-Point-Detektion – wenn es darauf ankommt, Material nur bis zu einer bestimmten Grenzfläche abzutragen.

Produktflyer TSH300 (812,99 kB)
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Anwendungsgebiete

Die Anwendungsgebiete für das TSH300 umfassen alle Teilbereiche der Materialwissenschaften und Materialprüfung. Ebenso kann das Add-on für die Elementanalyse in der Micro- und Nanoelektronik sowie dem Auffinden von Tracer-Elementen in gelabelten Proben aus Micro/Nanobiologischen Proben eingesetzt werden.

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Was wir anbieten

  • Lieferung und Anbringung inklusive Inbetriebnahme des TSH300 an ihrem Helium-Ionen-Mikroskop

 

  • Software zur automatisierten Datenaufnahme

 

  • Analysesoftware zur schnellen und unkomplizierten Extraktion von Elemenverteilungen aus den gewonnen Messdaten

 

  • Training im Umgang mit dieser uniklaren Technik

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Kontakt für Anfragen

Dr. René Heller

Ionenstrahlanalytik

Tel.: +49 351 260 3617

 

Dr. Nico Klingner

Ioneninduzierte Nanostrukturen

Tel.: +49 351 260 2524

tsh@hzdri.de