Ein Heliumionenmikroskop, das für hochauflösende Bildgebung und Modifikation mit Helium- oder Neonionen bekannt ist, wurde mit einem Flugzeitspektrometer für die Analyse der Zusammensetzung der Probe ausgestattet. Das leistungsstarke Add-On, der TSH300, ist eine Sekundärionenextraktionsoptik mit der alle Sekundärionenmassen parallel gemessen werden können. Damit reduzieren sich ionen-induzierte Einflüsse auf die Probe auf ein Minimum. Die Kombination von hochauflösenden Sekundärelektronenbildern und lateral aufgelöster Elementidentifizierung bietet ein hohes Potenzial zur Analyse von Nano- und Mikrostrukturen.
Zusätzlich können Tiefenprofile durch Ionensputtern gewonnen werden, womit ein Blick „unter“ die Oberfläche der Probe möglich wird. Auf diese Weise lassen sich gezielt Element-Tiefenprofile bestimmen. Letztere eignen sich auch hervorragend für eine so genannte End-Point-Detektion – wenn es darauf ankommt, Material nur bis zu einer bestimmten Grenzfläche abzutragen.
Produktflyer TSH300 (812,99 kB)
