Vorteile
Das leistungsstarke Add-On, Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometer for Helium Ion Microscopes (TSH300), ist eine Sekundärionenextraktionsoptik mit der alle Sekundärionenmassen parallel gemessen werden können. Damit reduzieren sich ionen-induzierte Einflüsse auf die Probe auf ein Minimum. Die Kombination von hochauflösenden Sekundärelektronenbildern und lateral aufgelöster Elementidentifizierung bietet ein hohes Potenzial zur Analyse von Nano- und Mikrostrukturen.
Zusätzlich können Tiefenprofile durch Ionensputtern gewonnen werden, womit ein Blick „unter“ die Oberfläche der Probe möglich wird. Auf diese Weise lassen sich gezielt Element-Tiefenprofile bestimmen. Letztere eignen sich auch hervorragend für eine so genannte End-Point-Detektion – wenn es darauf ankommt, Material nur bis zu einer bestimmten Grenzfläche abzutragen.
Vorteile:
- Hohe Präzision: Ermöglicht die Identifizierung von Elementen auf einer Nanometerbereich
- Breites Spektrum an Anwendungen: Geeignet für Nanoelektronik,
Mikrobiologie, Materialforschung und Geowissenschaften - Minimale Probenbeeinflussung: Reduziert ioneninduzierte Einflüsse auf die Probe
- Tiefenprofil-Analyse: Bietet die Möglichkeit, Tiefenprofile zu erstellen, um „unter“ die Probenoberfläche zu schauen
- Integrierte Software: Ermöglicht automatische Datenerfassung
und schnelle Analyse
Produktflyer Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometer for Helium Ion Microscopes (TSH300) ()Produktdatenblatt zum Herunterladen
