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Ein Heliumionenmikroskop, das für hochauflösende Bildgebung und Modifikation mit Helium- oder Neonionen bekannt ist, wurde mit einem Flugzeitspektrometer für die Analyse der Zusammensetzung der Probe ausgestattet. Das leistungsstarke Add-On, der TSH300, ist eine Sekundärionenextraktionsoptik mit der alle Sekundärionenmassen parallel gemessen werden können. Damit reduzieren sich ionen-induzierte Einflüsse auf die Probe auf ein Minimum. Die Kombination von hochauflösenden Sekundärelektronenbildern und lateral aufgelöster Elementidentifizierung bietet ein hohes Potenzial zur Analyse von Nano- und Mikrostrukturen.
Zusätzlich können Tiefenprofile durch Ionensputtern gewonnen werden, womit ein Blick „unter“ die Oberfläche der Probe möglich wird. Auf diese Weise lassen sich gezielt Element-Tiefenprofile bestimmen. Letztere eignen sich auch hervorragend für eine so genannte End-Point-Detektion – wenn es darauf ankommt, Material nur bis zu einer bestimmten Grenzfläche abzutragen.
Produktflyer TSH300 (812,99 kB)![TSH_300 TSH_300](https://hzdr-innovation.de/wp-content/uploads/2020/09/TSH_300.jpg)