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Unsere Technologie

Elementidentifizierung auf der Nanometer-Skala

Das Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometer for Helium Ion Microscopes, TSH300, ist ein Flugzeitmassenspektrometer das als Add-On-Messinstrument für den speziellen Einsatz an Helium-/ Neon-Ionen-Mikroskopen entwickelt wurde.

Es kombiniert die hervorragenden Bildgebungsfähigkeiten eines Helium-Ionen-Mikroskop mit der Fähigkeit der Elementidentifizierung auf der nm-Skala.

Das Besondere ist die hervorragende Ortsauflösung: Die Sekundärionen liefern eine laterale Auflösung bis auf einstellige Nanometer-Skala. Diese Hochauflösung bietet ein hohes Potenzial für Analysen in den Bereichen Nanoelektonik, Nano- und Mikrobiologie, Geowissenschaften und Materialforschung.

Key-Features

  • Mass range: 1 … 300 u
  • Mass resolution: >50:1
  • Lateral resolution: <50 nm
  • Field of view: up to 100 µm
  • Mapping resolution: 512 x 512
  • Acquisition times: 01 … 10 min. (spectra), 10 … 30 min. (maps)
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Vorteile

Das leistungsstarke Add-On, Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometer for Helium Ion Microscopes (TSH300), ist eine Sekundärionenextraktionsoptik mit der alle Sekundärionenmassen parallel gemessen werden können. Damit reduzieren sich ionen-induzierte Einflüsse auf die Probe auf ein Minimum. Die Kombination von hochauflösenden Sekundärelektronenbildern und lateral aufgelöster Elementidentifizierung bietet ein hohes Potenzial zur Analyse von Nano- und Mikrostrukturen.

Zusätzlich können Tiefenprofile durch Ionensputtern gewonnen werden, womit ein Blick „unter“ die Oberfläche der Probe möglich wird. Auf diese Weise lassen sich gezielt Element-Tiefenprofile bestimmen. Letztere eignen sich auch hervorragend für eine so genannte End-Point-Detektion – wenn es darauf ankommt, Material nur bis zu einer bestimmten Grenzfläche abzutragen.

Vorteile:

  • Hohe Präzision: Ermöglicht die Identifizierung von Elementen auf einer Nanometerbereich
  • Breites Spektrum an Anwendungen: Geeignet für Nanoelektronik,
    Mikrobiologie, Materialforschung und Geowissenschaften
  • Minimale Probenbeeinflussung: Reduziert ioneninduzierte Einflüsse auf die Probe
  • Tiefenprofil-Analyse: Bietet die Möglichkeit, Tiefenprofile zu erstellen, um „unter“ die Probenoberfläche zu schauen
  • Integrierte Software: Ermöglicht automatische Datenerfassung
    und schnelle Analyse
  • Produktflyer Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometer for Helium Ion Microscopes (TSH300) ()Produktdatenblatt zum Herunterladen
TSH_300
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Anwendungsgebiete

Die Anwendungsgebiete für das TSH300 umfassen alle Teilbereiche der Materialwissenschaften und Materialprüfung.

Ebenso kann das Add-on für die Elementanalyse in der Micro- und Nanoelektronik sowie dem Auffinden von Tracer-Elementen in gelabelten Proben aus Micro/Nanobiologischen Proben eingesetzt werden.

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Zwei zylindrische Metallbauteile des Produkts TSH300 mit glänzender Oberfläche und mehreren Öffnungen, die zusammen mit einem Detektor für technische Anwendungen verwendet werden, auf einer hellen Fläche liegend.
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Was wir anbieten

  • Lieferung und Anbringung inklusive Inbetriebnahme des TSH300 an ihrem Helium-Ionen-Mikroskop

 

  • Software zur automatisierten Datenaufnahme

 

  • Analysesoftware zur schnellen und unkomplizierten Extraktion von Elemenverteilungen aus den gewonnen Messdaten

 

  • Training im Umgang mit dieser uniklaren Technik

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Kontakt für Anfragen

Bernd Heirler
Sales
Tel.: 0351 260 3326
b.heirler@hzdri.de

Dr. René Heller
Ionenstrahlanalytik
Tel.: 0351 260 3617

Dr. Nico Klingner
Ioneninduzierte Nanostrukturen
Tel.: 0351 260 2524

Kontakt per E-Mail: tsh@hzdri.de