Ionentechnologie
Hochenergie-Ionenimplantation
Für das Geschäftsfeld Ionentechnologie nutzen wir die Anlagen des Ionenstrahlzentrums am Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf. Die langjährige Expertise auf dem Gebiet der Ionentechnologie, moderne und leistungsfähige Maschinen sowie hochqualifiziertes Personal ermöglichen eine zügige Prozessierung von Standardimplantationen unter Einhaltung hoher Qualitätsstandards. Zu unseren Stärken zählen der weite Ionen-Energiebereich, eine große Auswahl verfügbarer Ionenspezies und die Erfüllung von komplexen Spezialaufträgen. Die enge Zusammenarbeit mit namenhaften Kunden weltweit zeugt vom großen Vertrauen in unsere Dienstleistungen.
Beschleunigte Ionen
Sechs Beschleuniger mit 40 Endstationen im Energiebereich von einigen hundert eV bis über 50 MeV können für die Ionenimplantation genutzt werden. Die Implantation leichter Ionen in Halbleiterbauelemente der Leistungselektronik führt zur Verbesserung des Schaltverhaltens und zur signifikanten Verringerung der Verlustleistung (lifetime engineering).