Mit dem Tensormeter können alle Komponenten des elektrischen Widerstands von dünnen Schichten wie zum Beispiel von Siliziumwafern schnell, einfach und präzise mit einer Messung erfasst werden. Das Tensormeter bestimmt den kompletten Widerstandstensor einer oder mehrerer Dünnschichtproben wofür sonst eine Vielzahl von Messgeräten und aufwendigen Messaufbauten nötig ist. Zudem misst das Tensormeter exakt in hoher Auflösung und bei geringstem Rauschen ohne Probenstrukturierung (z.B. Lithografie).
Die Vorteile des Messgerätes auf einen Blick:
Der Tensormeter kann für eine Vielzahl von Messanwendungen in der Dünnschichtcharakterisierung, Wafer- und Vorrichtungsprüfung sowie in der Materialforschung eingesetzt werden.
Mit nur einem Gerät und einer automatisierten Messung kann ein vollständiger Satz elektrischer Parameter für eine umfassende Charakterisierung elektrischer Proben abgeleitet werden.
Wir möchten Ihnen mit dem Tensormeter den neuen Standard in der Widerstandsmessung näher bringen. Wir bieten Ihnen das Tensormeter zum Kauf an. Sie können das Messgerät zudem mieten und wenn Sie es wünschen, führen wir für Sie Probemessungen durch.
Erfahren Sie mehr über das Tensormeter
Dr. Tobias Kosub, Technische Entwicklung
Tel.: +49 351 260 2900
t.kosub@hzdri.de
Dr. Stefanie Hartmann, Verkauf
Tel.: +49 351 260 2710
s.hartmann@hzdri.de
