Tensormeter - HZDR Innovation

Eine neue Dimension der Widerstandsmessung

Mit dem Tensormeter können alle Komponenten des elektrischen Widerstands von dünnen Schichten wie zum Beispiel von Siliziumwafern schnell, einfach und präzise mit einer Messung erfasst werden. Das Tensormeter bestimmt den kompletten Widerstandstensor einer oder mehrerer Dünnschichtproben wofür sonst eine Vielzahl von Messgeräten und aufwendigen Messaufbauten nötig ist. Zudem misst das Tensormeter exakt in hoher Auflösung und bei geringstem Rauschen ohne Probenstrukturierung (z.B. Lithografie).

Tensormeter RTM1

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Ein Gerät für alle Messungen

Das Tensormeter RTM1 ist das erste integrierte Messgerät, das die gleichzeitige Messung aller Komponenten des elektrischen Widerstandstensors ermöglicht, auch an unstrukturierten dünnen Schichten und bis in den Nano-Ohm-Bereich. Es ersetzt damit alle Standardgeräte für Widerstandsmessungen wie Lock-in-Verstärker, Source-Measure-Units, Präzisionsmultimeter und Schaltmatrix und vereint sie in einem Gerät.

Erfahren Sie mehr über das Widerstandsmessgerät in unserem Produktvideo.

Einfache Messungen, bessere Ergebnisse

Die Vorteile des Messgerätes auf einen Blick:

Messen Sie den Sheet- und Hallwiderstand bei hoher Präzision und extrem geringem Rauschen
Messen Sie unregelmäßig geformte Proben, ohne dass eine lithografische Strukturierung erforderlich ist
Ersetzen Sie den Lock-In-Verstärker, die Quellenmesseinheit, das Digitalmultimeter und den Analogmatrixschalter
Sparen Sie Messzeit und erzielen Sie einen höheren Durchsatz

Anwendungsgebiete

Der Tensormeter kann für eine Vielzahl von Messanwendungen in der Dünnschichtcharakterisierung, Wafer- und Vorrichtungsprüfung sowie in der Materialforschung eingesetzt werden.

Mit nur einem Gerät und einer automatisierten Messung kann ein vollständiger Satz elektrischer Parameter für eine umfassende Charakterisierung elektrischer Proben abgeleitet werden.

Was wir anbieten

Wir möchten Ihnen mit dem Tensormeter den neuen Standard in der Widerstandsmessung näher bringen. Wir bieten Ihnen das Tensormeter zum Kauf an. Sie können das Messgerät zudem mieten und wenn Sie es wünschen, führen wir für Sie Probemessungen durch.

Erfahren Sie mehr über das Tensormeter

Kontakt zum Team Tensormeter

Dr. Tobias Kosub, Technische Entwicklung

Tel.: +49 351 260 2900

t.kosub@hzdri.de

Bernd Heirler, Verkauf

Tel.: +49 351 260 3326

b.heirler@hzdri.de