Funktionsweise: Simulation mit TRIDYN und TRI3DYN
Atomare Kollisionen werden im Rahmen der Zweierstoß-Näherung simuliert, die sehr schnelle Rechnungen auch für große Systeme und hohe Ionenbeschuss-Fluenzen ermöglicht. Die Bestrahlungs-Parameter können durch die Wahl verschiedener Energie- und Winkelverteilungen flexibel variiert werden. Im statischen Modus liefern die Programme dreidimensionale Ortsverteilungen der implantierten Atome und der erzeugten Punktdefekte sowie Energie- und Winkelverteilungen gestreuter Ionen und zerstäubter Atome. Der dynamische Modus beschreibt zusätzlich die Veränderung des bestrahlten Materials in Abhängigkeit von der Fluenz der einfallenden Ionen, darunter die Erosion oder das Schwellen der Oberfläche, den Aufbau dünner Schichten sowie die Änderung der ortsabhängigen Elementverteilung. Die gleichzeitige Bestrahlung mit mehreren Atomsorten, darunter auch langsamen Atomen, ermöglicht u.a. die Simulation der Dünnschicht-Abscheidung unter Ionenbestrahlung.
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