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Weitere InformationenHochenergie-Ionenimplantation und Bestrahlung als Dienstleistung
Die HZDR Innovation GmbH ist seit 2011 als Dienstleister im Bereich hochenergetischer Ionenimplantation, Ionenbestrahlung und Elektronenbestrahlung am Markt. Wir führen definierte Ionenimplantationen und Ionenbestrahlungen für Halbleiter, Leistungshalbleiter, Bauteile der Optik und Optoelektronik, technische Materialien, Wafer und Sondergeometrien durch.
Unser Fokus liegt auf der zuverlässigen Durchführung nach Kundenspezifikation: klar abgestimmte Prozessparameter, dokumentierte Auftragsabwicklung, vertrauliches Probenhandling und langjährige Erfahrung mit nationalen und internationalen Kunden.
Technische Parameter
| Parameter | Beschreibung |
|---|---|
| MeV-H/He-Bestrahlung | H-Ionen bis ca. 8 MeV, He-Ionen bis ca. 14 MeV, abhängig von Prozessdetails |
| MeV-Ionenimplantation | z. B. B, P, As, C, N und weitere Ionensorten nach technischer Prüfung |
| Materialien/Substrate | Si, SiC, Ge, GaAs, GaN |
| Standard-Ionenimplantation | 30 keV bis 500 keV |
| Waferformate | 2″, 3″, 100 mm, 125 mm, 150 mm und 200 mm |
| Laborproben und Sondergeometrien | Nach technischer Prüfung |
| Standorte | Dresden (DE) und Trnava (SK) mit jeweils zwei MeV-Bestrahlungslinien |
| Elektronenbestrahlung | 10 MeV, über qualifizierte Partner |
| Auftrags- und Prozessbedigungen | NDA, Produktnachverfolgung, getrennte Lagerung/Prozessierung und Auftragszusammenfassung mit Parametern |
Typische Anwendungen
MeV-Ionenimplantation
- Gezieltes Defect-Engineering für Leistungshalbleiter zur Lebensdauereinstellung von Ladungsträgern
- Erzeugung tiefer Dotandenprofile
Standard-Ionenimplantation (30 keV bis 500 keV)
- Dotierimplantationen
- Materialmodifikationen
- Implantationen für Sensorik/MEMS Applikationen
MeV-Elektronenbestrahlung
- Gezieltes Defect-Engineering für Leistungshalbleiter zur Lebensdauereinstellung von Ladungsträgern
HÄUFIG GESTELLTE FRAGEN (FAQ)
Welche Ionenimplantationen bietet die HZDR Innovation GmbH an?
Unser Leistungsspektrum reicht von Standard-Ionenimplantationen im Energiebereich von 30 keV bis 500 keV bis zu hochenergetischen MeV-Ionenimplantationen im Besonderen H-/He-Ionenbestrahlungen. Wir bearbeiten Wafer, Laborproben und Sondergeometrien mit unterschiedlichen Ionensorten. Die geeigneten Prozessparameter stimmen wir individuell auf Ihre Anwendung ab.
Sind Sie ISO 9001 zertifiziert?
Die HZDR Innovation GmbH ist seit 2015 nach ISO 9001 zertifiziert. Der Geltungsbereich lautet: „Realisierung von Produktionsaufträgen im Geschäftsfeld Ionentechnologie“. Die Zertifizierung erfolgt durch TÜV Nord. Ein PDF-Zertifikat ist verfügbar.
Können Projekte unter einer Vertraulichkeitsvereinbarung (NDA) durchgeführt werden?
Vertraulichkeit hat für uns höchste Priorität. Auf Wunsch arbeiten wir auf Basis einer Vertraulichkeitsvereinbarung (NDA) und behandeln Ihre Prozessparameter, Proben, Projektdaten und Ihr technisches Know-how konsequent vertraulich.
Haben Sie Erfahrung mit internationalen Kunden?
Wir arbeiten seit vielen Jahren mit Kunden aus Europa, Asien, China, den USA und weiteren Nicht-EU-Ländern. Deutsch- und englischsprachige Kommunikation sind gleichwertig möglich.
Können Sie Export und Import unterstützen?
Wir verfügen über Export- und Importerfahrung sowie Erfahrung mit aktiver Veredelung für viele Bauteiltypen. Die konkrete Abwicklung hängt vom Probenmaterial, Zielland, Versandweg und regulatorischen Anforderungen ab.
Ready to implant?
Ob Standardprozess oder spezielle Anforderung –
sprechen Sie mit uns über Ihr nächstes
Hochenergie-Ionenimplantationsprojekt.
Dr. Roman Böttger
Chief Operating Officer
+49 351 260 2873
Oder schreiben Sie
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an unser Sales-Team: