Validierung der Strahlungsdetektorherstellung von 4-Zoll- auf 8-Zoll-Wafer-Technologie

Projektlaufzeit: 26.08.2026 - 28.02.2027

Die HZDR Innovation GmbH entwickelt die Fertigungstechnologie für Passivated Implanted Planar Silicon-Detektoren (PIPS) weiter. Die Halbleiterdetektoren zur Erkennung ionisierender Strahlung werden derzeit in Kleinserie auf 4-Zoll-Siliziumwafern gefertigt. Ziel des geförderten Vorhabens ist der Technologietransfer auf eine 8-Zoll-Prozesslinie. Dadurch sollen Durchsatz, Reproduzierbarkeit und Skalierbarkeit der Fertigung verbessert sowie der Energieverbrauch reduziert werden. Damit werden die Voraussetzungen für eine effizientere und wirtschaftlich skalierbare Produktion geschaffen.