Blitzlampenausheilung

Hohe Temperaturen in sehr kurzen Zeiten

Bei der Blitzlampenausheilung (FLA; engl.Flash Lamp Annealing) wird ein Energiespeicher über eine einzelne Blitzlampe oder ein Feld von Blitzlampen entladen. Der dadurch entstehende Lichtpuls wird vom Substrat oder Wafer absorbiert und in Wärme umgewandelt. Der Reflektor maximiert die Lichtintensität auf der Vorderseite des Substrats, während ein optional vorhandenes Vorheizsystem auf der Rückseite (meist Heizplatte oder Halogenlampen) das Substrat vorheizt. Dadurch können höhere Maximaltemperaturen erreicht und thermische Spannungen reduziert werden.

Was das BLITZLAB anbietet

Das Innovation Lab „BlitzLab“ entwickelt und optimiert in Zusammenarbeit mit Industriepartnern Verfahren der Ultrakurzzeitausheilung für verschiedene Anwendungsfelder. Die Anwendungsbereiche reichen von funktionalen Halbleiterschichten über gedruckte Elektronik und Photovoltaik bis hin zu Energiematerialien. BlitzLab bietet seinen Kooperationspartnern Zugriff auf ein Temperlabor mit mehreren Blitzlampen- und Laseranlagen. In Zusammenarbeit mit dem HZDR, kann auf viele weitere Methoden der Materialbehandlung und Materialanalyse zugegriffen werden.

Vorteile

Ultrakurzzeittemperung durch FLA /Blitzlampen- und Laserausheilung ermöglicht die Behandlung oberflächennaher Bereiche von Werkstoffen mit hohen Temperaturen in sehr kurzen Zeiten.

Vorteile gegenüber konventionellenthermischen Behandlungen sind:

Energieeinsparung
Zeitersparnis
Einsatz temperaturempfindlicher Substrate
Synthese neuer Materialien im thermischen Nichtgleichgewicht

Kooperationsmöglichkeiten

Alle interessierten Anwender aus Industrie und Forschung sind herzlich eingeladen, sich an uns zu wenden. Unser Ziel ist es, potentielle Anwendungsmöglichkeiten für Blitzlampenausheilung / FLA durch gemeinsame Forschungs- und Validierungsprojekte zu demonstrieren.

Wir bieten u.a.:

Prozessentwicklung zur thermischenBehandlung von Materialien
Zusammenarbeit mit dem HZDR Ionenstrahlzentrum (IBC) für Materialanalyse und -behandlung.

Branchen

Halbleiter
Photovoltaik
Gedruckte Elektronik
Energiematerialien

Ihre Ansprechpartner

Dr. Lars Rebohle

Project management / FWIM

l.rebohle@hzdr.de

+49351 260 3368

Dr. Viktor Begeza

Business development / FWIM

v.begeza@hzdr.de

+49351 260 3368