Wir freuen uns auf die Zusammenarbeit und beraten Sie gern.

在离子束技术服务领域,我们依托德累斯顿-罗森多夫亥姆霍兹中心(Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf,HZDR)先进的离子束中心设施,结合多年深厚的技术积累、现代化高性能设备以及经验丰富的专业团队,为客户提供高效、可靠且高质量的离子束解决方案。 我们能够快速完成各类材料掺杂与器件性能改性,在严格保障工艺精度和质量标准的同时,有效缩短项目周期。我们的技术优势包括覆盖 keV 至 MeV 的宽广离子能量范围、丰富的离子种类选择——涵盖元素周期表中所有稳定元素,以及针对复杂应用和特殊需求提供高度定制化服务的能力。 我们与全球众多知名客户保持长期、紧密的合作关系。客户持续的信任与认可,充分印证了我们在技术实力、服务质量和项目交付方面的卓越表现。

高能离子注入

在离子注入领域拥有多年的专业经验

我们依托德累斯顿-罗森多夫亥姆霍兹中心(HZDR)内欧洲规模领先、技术先进的离子束中心(Ion Beam Center,IBC),为客户提供高能离子注入服务。通过与 HZDR 离子束中心的紧密合作,我们不仅能够使用高性能、功能完善的离子束设备,还能获得经验丰富、高素质运行团队的全程技术支持。 该中心将前沿科研能力与工业应用需求深度融合,在确保设备高可靠性、工艺稳定性和严格质量标准的同时,持续推进技术升级与设备现代化,为客户提供长期可靠的先进加工能力。 凭借在离子注入领域多年的技术积累和项目经验,我们能够准确理解并评估客户的多样化需求。即使面对复杂或高度定制化的项目,我们也能与客户保持紧密沟通,共同制定切实可行的技术方案,并高效完成实施。

离子束技术
离子束技术
icon_teaser_services_red

我们的服务

我们使用的设备工作于宽广的能量范围,不仅涵盖典型的标准能量,还包括高能离子注入。专用离子源可提供种类繁多的离子,覆盖了元素周期表中的大部分元素。不同设备之间的能量范围存在重叠,从而形成了备用冗余,必要时可将正在进行的工艺转移至另一台设备,确保交货时间。


半自动晶圆处理

根据晶圆的几何形状和特性,可选择手动或半自动晶圆处理方式。手动处理特别适用于薄型和易碎晶圆。晶圆盒式系统使我们经过专业培训的人员能够处理小尺寸样品和元件,以及最大尺寸达 200 mm 的晶圆。机器人可高效完成标准晶圆的自动上下料。晶圆处理在ISO 5级和ISO 6级洁净室环境中进行。

高能离子注入
高能离子注入
icon_teaser_anwendung_red

我们的服务范围

•  注入元素/同位素范围:1H 至 197Au

•  加速电压:10 kV 至 6 MV

•  离子源:溅射源、气体源、蒸发源

•  晶圆尺寸:最大 200 mm

•  晶圆处理:手动或半自动

•  洁净室环境:ISO 5 级和 ISO 6 级

高能离子注入

icon_teaser_contact_white

您的联系人

Dr. Roman Böttger

Chief Operating Officer

Tel.: +49 351 260 2873

r.boettger@hzdri.de