Reinraum

Die HZDR Innovation verfügt über ein Reinraumlabor mit insgesamt 320 m2 Fläche für die Herstellung von Halbleiterproben, Dünnschichtsystemen sowie Bauelemente-Teststrukturen für die Ionenstrahl- und Materialforschung sowie für die Kleinserienproduktion von Sensoren und Detektoren.

Das Reinraumlabor ist unterteilt in:

  • 118 m2 der Reinraumklasse 500.000 mit den Messplätzen und Testeinrichtungen
  • 136 m2 der Reinraumklasse 100.000 mit den Servicebereichen
  • 35 m2 der Reinraumklasse 1.000
  • 35 m2 Arbeitsflächen mit der Reinraumklasse 100

Der eigentliche Reinraum ist unterteilt in 5 Sektionen:

  • Naßchemische Prozesse (Standardprozesse)
  • Fotolithografie
  • Oxidation, Diffusion, Temperung
  • Physikalische Dünnschicht-Abscheidung & reaktives Ionen-Ätzen
  • Nasschemisches Ätzen (Spezialprozesse)