Lifetime Engineering

Minimierung der Ladungsträger-Lebensdauer

Durch Protonen- oder Heliumionenbestrahlung können Rekombinationszentren in Silizium­bauelementen in definierter Tiefe erzeugt werden. Diese Technologie ist hinsichtlich ihrer physikalischen Effekte, der erreichbaren Präzision und dem Fehlen von negativen Nebeneffekten den Diffusionsverfahren weit überlegen.

Vorteile des Verfahrens:

  • Verbesserung der Schaltgeschwindigkeit von Leistungsbauelementen (höhere Frequenzen möglich)
  • Reduzierung der Verlustleistung (niedrigere Bauelement-Temperatur)
  • Lokale Verringerung der Ladungsträger-Lebensdauer
  • Exakte räumliche Defektlokalisierung und Defektdichte
  • keine Metallkontamination, damit niedrige Leckströme
  • Mehrfachbehandlung ist möglich
  • sehr gute Anpassung an das Bauelement und temperaturstabile Tiefenverteilung
  • Prinzip der HE-Ionenimplantation im Baulelement
  • Strom-Zeit-Charakteristik mit und ohne HE-Ionenimplantation