RBS

RBS – Rutherford Backscattering Spectrometry

  • Hohe Nachweisempfindlichkeit für schwere Elemente in/auf leichter Matrix
  • Blindheit für leichte Elemente in schwerer Matrix
  • Quantitative und standardfreie Methode mit einer Genauigkeit von < 1%
  • Gute Tiefenauflösung von < 5 nm bei der Anwendung von Standard-Siliziumdetektoren

Typische Parameter:

Elemente: O...U
Ionen: He (< 2 Mev), C (einige MeV)
Nachweisempfindlichkeit: < 0.1 at%
Analysetiefe: ~ Micrometer