NRA

NRA – Nuclear Reaction Analysis

Selektiver Nachweis von leichten Elementen-zerstörungsfreie quantitative Messung von Wasserstoffprofilen 

Typische Parameter:

Inzidenzteilchen: 15N , 6,3 bis 12 MeV
Strahlfokus: 1 - 100 mm²
Nachweisgrenze: 0,02 at%
Analysiertiefe: bis zu 5 µm (materialabhängig)
Tiefenauflösung: ca. 8 nm (Si), min.1 nm (streifender Einfall)
Elemente: H…F