Ionen-Mikrostrahl

Mikrostrahl

Laterale Elementverteilungen oder Tiefenprofile im Lateralbereich von einigen Mikrometern mittels PIXE, RBS, RBS/C, ERDA, NRA.

Parameter:

  • Standardfreie quantitative Elementbestimmung, alle Elemente
  • Laterale Auflösung:> 4 x 4 ?m², > 30 x 30 ?m² (channeling)
  • Bulkanalyse und Tiefenprofile
  • Nachweisgrenze: H, B-F: 0.2 Atom%, Al-U: > 10 ppm
  • Tiefenauflösung: etwa 20 nm
  • Maximale Analysentiefe: etwa 1 ?m
  • Rasterfläche: bis zu einige mm²