ERDA

ERDA – Elastic Recoil Detection Analysis

ERDA ist eine Technik zur Tiefenprofilanalyse von leichten Elementen und Isotopen
Für die Analyse werden Schwerionen von typischerweise einigen 10 MeV Ionenenergie verwendet. Die elastisch gestreuten Ionen und rückgestoßenen Targetatome werden in Vorwärtsrichtung durch partikelidentifizierende Detektortechniken nachgewiesen.

Typische Parameter:

Ionen: 35 MeV Cl7+ , 2 - 10 nA
Analysiertiefe: Mehrere 100 nm
Nachweisgrenze: 0,1 at% im Volumen
Elemente: B…S, Cl…U