RBS

RBS – Rutherford Backscattering Spectrometry

  • Hohe Nachweisempfindlichkeit für schwere Elemente in/auf leichter Matrix
  • Blindheit für leichte Elemente in schwerer Matrix
  • Quantitative und standardfreie Methode mit einer Genauigkeit von < 1%
  • Gute Tiefenauflösung von < 5 nm bei der Anwendung von Standard-Siliziumdetektoren
  • Die Anwendung von “channeling“-Messgeometrien ermöglicht die Messung der Kristallstörungen in einkristallinen Proben

Typische Parameter:

Elemente: O...U
Ionen: He (< 2 Mev), C (einige MeV)
Nachweisem<br>pfindlichkeit: < 0.1 at% ... mehrere at% im Volumen 10<sup>12</sup> at/cm² ...10<sup>15</sup> at/ cm² als Dünnschichten in Abhängigkeit der Elementkombinationen
Analysetiefe: ~ Micrometer