NRA

NRA – Nuclear Reaction Analysis

  • Selektiver Nachweis von leichten Elementen
  • Isotopensensitive Analysemethode
  • Spurenelementverteilung ist messbar

Zerstörungsfreie quantitative Messung von Wasserstoffprofilen

Methode:
Dazu wird die Kernreaktion 15N + 1H → 12C + 4He + γ benutzt. Mit dieser resonanten Kernreaktionsanalyse kann die Wasserstoffkonzentration von oberflächennahen Bereichen an Festkörpern standardfrei durch die γ-Strahlenmessung bestimmt werden. Durch Variation der Inzidenzenergie kann die Messtiefe verändert werden und somit eine Tiefenprofilanalyse für Wasserstoff erfolgen.

Typische Parameter:

Inzidenzteilchen: <sup>15</sup>N , 6,3 bis 12 MeV
Strahlfokus: 1 - 100 mm²
Nachweisgrenze: 0,02 at%
Analysiertiefe: bis zu 5 µm (materialabhängig)
Tiefenauflösung: ca. 8 nm (Si), min.1 nm (streifender Einfall)
Elemente: H…F
Typische Ionen: p, d, <sup>3</sup>He