Ionen-Mikrostrahl

Mikrostrahl

Eine Analysemethode für die Bestimmung von lateralen Elementverteilungen oder Tiefenprofilen im Lateralbereich von einigen Mikrometern mittels PIXE, RBS, RBS/C, ERDA, NRA.

Methode:
Ein Hochenergie-Ionenstrahl, fokussiert auf wenige Mikrometer Durchmesser, wird über die Meßprobe gescannt und löst unterschiedliche Wechselwirkungsprozesse mit den Atomen des Targetmaterials aus.

Parameter:

  • Standardfreie quantitative Elementbestimmung, alle Elemente
  • Laterale Auflösung:> 4 x 4 μm², > 30 x 30 μm² (channeling)
  • Bulkanalyse und Tiefenprofile
  • Nachweisgrenze: H, B-F: 0.2 Atom%, Al-U: > 10 ppm
  • Tiefenauflösung: etwa 20 nm
  • Maximale Analysentiefe: etwa 1 μm
  • Rasterfläche: bis zu einige mm²