ERDA

ERDA – Elastic Recoil Detection Analysis

ERDA ist eine Technik zur Tiefenprofilanalyse von leichten Elementen und Isotopen

Für die Analyse werden Schwerionen von typischerweise einigen 10 MeV Ionenenergie verwendet. Die elastisch gestreuten Ionen und rückgestoßenen Targetatome werden in Vorwärtsrichtung durch partikelidentifizierende Detektortechniken nachgewiesen:

  • Bragg-Ionisationskammern separieren leichte Teilchen nach ihrer Atomzahl
  • Flugzeit messende Teleskope trennen leichte und mittelschwere Teilchen entsprechend ihrer Massenzahl (Isotope)
  • Mittels Si-Detektorteleskope ist die Trennung von H- und He-Isotope möglich

Typische Parameter:

Ionen: 35 MeV Cl<sup>7+</sup> , 2 - 10 nA
Analysiertiefe: Mehrere 100 nm
Nachweisgrenze: 0,1 at% im Volumen, 5*10<sup>14</sup> at./cm² bei Dünnschichten
Tiefenauflösung: 10 nm (nicht für H und He)
Elemente: B…S, Cl…U
Ionen: He (~ MeV),
Schwerionen: (~10...100 MeV)