durch Hochenergie-Ionenimplantation von Protonen und
Heliumionen in Leistungshalbleiter-Bauelemente
als Service für Ihre Produkte aller Materialien und Anwendungen
zur Oberflächenfunktionalisierung
von Forschungsergebnissen, Verfahren und Ausrüstungen des
Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf